羅茨真空泵是一種機械氣體運輸泵，在工作時，羅茨泵內的兩個8字形的轉子以相反的方向旋轉。轉子的咬合精度很高，在轉子與轉子、轉子與泵體之間的間隙中也不使用油作為密封介質。由于轉子旋轉過程中掃過的空間很大，加上轉子的轉速很高，因而這種真空泵的抽速很大，且其極限真空度較高，可以達到10負二次方Pa左右，但氣體的壓力低于10負一次方Pa以后不，氣體的回流將造成羅茨泵抽速的降低。而在壓力較高時，大量氣體的高速壓縮會引起泵體和轉子的發(fā)熱與熱膨脹。造成配合精度很高的泵體的損壞。因此，羅茨泵的適應壓力范圍在0.1-1000Pa之間。在一般情況下，羅茨泵總是是與旋片式機械真空泵串聯成真空泵機組使用。