真空泵的分類有很多，其中干式真空泵將是未來市場的主導(dǎo)產(chǎn)品，為什么呢？近年來是環(huán)境污染越來越嚴(yán)重，不敢的霧霾還是北極冰融化，都引起了的高度關(guān)注。所謂干式真空泵就是無油的真空泵，可以減少油霧的排放，減少污染，節(jié)能、環(huán)保、、、、
干式真空泵就其基本原理來分, 只有兩類, 即:
① 容積式的無油真空泵, 例如多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～ 0.04m 3?s。
② 動(dòng)量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側(cè)與大氣相接, 在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02～0.15m 3?s。牽引型干式泵也屬于動(dòng)量傳輸式的干式泵。

干式真空泵和油封式機(jī)械泵相比, 達(dá)到同樣的極限壓力, 其殘余氣體成分則全然不同,經(jīng)分析結(jié)果明, 油封泵的殘余氣體, CnHm 氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分, 而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實(shí)了干式泵的抽氣不再有油的污染了。

有些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上, 如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等仍在使用潤滑油, 也有用合成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在, 嚴(yán)格來說不是全無油的泵, 但經(jīng)分析, 這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。

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